COBRASemicon螺杆真空泵

COBRA Semicon 螺杆真空泵

极限压力: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
抽气速率 50 Hz: 70 - 7400 m³/h
抽气速率 60 Hz: 85 - 7400 m³/h
 
COBRA Semicon 干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供可靠的解决方案。 

可靠
COBRA Semicon 螺杆真空泵配有电机，因此可提供的节能效果。强劲、可靠、低维护的 COBRA Semicon 真空泵缘于其简单的设计结合 Busch 成熟的螺杆技术（可选择额外的直通法兰罗茨真空泵）。

应用导向
COBRA Semicon 螺杆真空泵有多种型号，广泛适用于各类工艺操作。紧凑型设计简化了安装过程，即使在较狭小的空间也能轻松安装。此系列真空泵拥有同等级中较高的抽速，可提供较大的通气量（甚至是氢气）及增强的颗粒耐受力。

序号	型号		照片				额定抽速	极限压力 hPa	备注
1	COBRA DS						70-7385 m³/h	0.001-20 hPa
2	COBRA BA						85 m³/h	0.01 hPa
3	COBRA BC						85-1580 m³/h	0.001-0.01 mba